AOI 即自动化瑕疵光学检测 (Automatic Optical Inspection)。具体来说明:通过 Line scan 或 Area CCDs 取像后,使用软件技术去进行目标物 (Object) 的品质检测。检测住要项目为:各式各样的异物(particles)、断线(line breakages)、产品图样易位(pattern shifts)等等。理想上希望全面取代人眼或进行人眼所无法执行的检测工作。
A. 机构精密度及稳定度高 B. 客制化及人性化机构硬件及软件介面设计 C. 处理速度快速 D. 机台整合性高